[C-5-2] Ultra-Thin (4nm) Gate-All-Around CMOS devices with High-k/Metal for Low Power Multimedia Applications

J. L. Huguenin^1,2, S. Monfray¹, G. Bidal¹, S. Denorme¹, P. Perreau^3,1, N. Loubet¹, Y. Campidelli¹, M. P. Samson^3,1, C. Arvet^3,1, K. Benotmane³, F. Leverd¹, P. Gouraud¹, B. Le-Gratiet¹, C. De-Butet^3,1, L. Pinzelli¹, R. Beneyton¹, S. Barnola³, T. Morel¹, A. Halimaoui¹, F. Boeuf¹, G. Ghibaudo², T. Skotnicki¹ (1.STMicroelectronics, 2.IMEP, 3.CEA-LETI , France)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2010.C-5-2