[C-6-1] Extremely-Thin SOI for Mainstream CMOS: Challenges and Opportunities
A. Khakifirooz1, K. Cheng1, A. Kumar1, P. Kulkarni1, S. Ponoth1, B. S. Haran1, S. Mehta1, J. Cai1, A. Byrant1, J. Kuss1, L. F. Edge1, H. Jagannathan1, Z. Ren1, A. Reznicek1, T. Adam1, H. He1, A. Kimball1, S. Kanakasabapathy1, S. Schmiz1, S. Holmes1, A. Majumdar1, B. Jagannathan1, D. Yang1, A. Upham1, S. C. Seo1, J. L. Herman1, R. Johnson1, Y. Zhu1, P. Jamison1, Z. Zhu1, L. H. Vanamurth1, J. Faltermeier1, S. Fan1, D. Horak1, T. Hook1, V. Narayanan1, V. Paruchuri1, H. Bu1, D. K. Sadana1, P. Kozlowsk1, B. Doris1, D. McHerron1, W. Haensch1, M. Khare1, E. Leobondung1, J. O'Neil1, G. Shahidi1
(1.IBM Research , USA)
https://doi.org/10.7567/SSDM.2010.C-6-1