[C-6-1] Extremely-Thin SOI for Mainstream CMOS: Challenges and Opportunities

A. Khakifirooz¹, K. Cheng¹, A. Kumar¹, P. Kulkarni¹, S. Ponoth¹, B. S. Haran¹, S. Mehta¹, J. Cai¹, A. Byrant¹, J. Kuss¹, L. F. Edge¹, H. Jagannathan¹, Z. Ren¹, A. Reznicek¹, T. Adam¹, H. He¹, A. Kimball¹, S. Kanakasabapathy¹, S. Schmiz¹, S. Holmes¹, A. Majumdar¹, B. Jagannathan¹, D. Yang¹, A. Upham¹, S. C. Seo¹, J. L. Herman¹, R. Johnson¹, Y. Zhu¹, P. Jamison¹, Z. Zhu¹, L. H. Vanamurth¹, J. Faltermeier¹, S. Fan¹, D. Horak¹, T. Hook¹, V. Narayanan¹, V. Paruchuri¹, H. Bu¹, D. K. Sadana¹, P. Kozlowsk¹, B. Doris¹, D. McHerron¹, W. Haensch¹, M. Khare¹, E. Leobondung¹, J. O'Neil¹, G. Shahidi¹ (1.IBM Research , USA)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2010.C-6-1