Nanosized-Metal-Grain-Induced Characteristic Fluctuation in 16-nm CMOS Devices

2010 International Conference on Solid State Devices and Materials

2010年9月21日〜 2010年9月24日
The University of Tokyo, Tokyo, Japan

Y. Li^1,2、C. H. Yu¹、M. H. Han¹、H. W. Cheng¹ (1.National Chiao Tung Univ.、2.National Nano Device Labs. , Taiwan)