Si Waveguide-Integrated MSM Ge Photodiode

2011 International Conference on Solid State Devices and Materials

2011年9月27日〜 2011年9月30日
Aichi Industry & Labor Center (WINC AICHI), Nagoya, Japan

J. Fujikata^1,2、M. Noguchi^1,2、M. Miura^1,2、D. Okamoto^1,2、T. Horikawa^1,3、Y. Arakawa^1,4 (1.PECST、2.PETRA、3.AIST、4.Univ. of Tokyo , Japan)