RMG Tech. Integration in FinFET Devices

G. Boccardi; R. Ritzenthaler; M. Togo; T. Chiarella; M. S. Kim; S. Yuichiro; A. Veloso; S. A. Chew; E. Vecchio; S. Locorotondo; K. Devriendt; P. Ong; S. Brus; N. Horiguchi; A. Thean

doi:https://doi.org/10.7567/SSDM.2012.D-1-4

2012 International Conference on Solid State Devices and Materials

Sep 25, 2012 - Sep 27, 2012
Kyoto International Conference Center, Kyoto, Japan

[D-1-4] RMG Tech. Integration in FinFET Devices

G. Boccardi¹, R. Ritzenthaler¹, M. Togo¹, T. Chiarella¹, M. S. Kim¹, S. Yuichiro¹, A. Veloso¹, S. A. Chew¹, E. Vecchio¹, S. Locorotondo¹, K. Devriendt¹, P. Ong¹, S. Brus¹, N. Horiguchi¹, A. Thean¹ (1.IMEC , Belgium)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2012.D-1-4

▲