[F-1-3] BEOL InGaAs nMOSFETs on Polyimide T. Maeda1、H. Ishii1、T. Itatani1、W. Jevasuwan1、O. Ichikawa2、M. Hata2、T. Yasuda1 (1.AIST、2.Sumitomo Chemical , Japan) https://doi.org/10.7567/SSDM.2012.F-1-3
