[F-1-3] BEOL InGaAs nMOSFETs on Polyimide T. Maeda1, H. Ishii1, T. Itatani1, W. Jevasuwan1, O. Ichikawa2, M. Hata2, T. Yasuda1 (1.AIST, 2.Sumitomo Chemical , Japan) https://doi.org/10.7567/SSDM.2012.F-1-3
