Effects of Rutile TiO<sub>2</sub> Interlayer on HfO<sub>2</sub>/Ge MOS Structure

2013 International Conference on Solid State Devices and Materials

2013年9月24日〜 2013年9月27日
Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan

K. Kobashi^1,2、T. Nagata²、T. Nabatame²、Y. Yamashita²、A. Ogura¹、T. Chikyow² (1.Meiji Univ.、2.NIMS (Japan))