[PS-6-5] Analysis of Electrical Characteristics of AlGaN/GaN on Si Large SBD by Changing Structure

^○H. S. Lee^1,2, D. Y. Jung¹, Y. R. Park¹, J. H. Na¹, H. G. Jang¹, H. Lee¹, C. H. Jun¹, J. B. Park¹, Z. S. Kim¹, J. K. Mun¹, S. O. Ryu², S. C. Ko¹, NamE. S. ¹ (1.Electronics and Telecommunications Res. Inst., 2.Dankook Univ.(Korea))