2016 International Conference on Solid State Devices and Materials

2016年9月26日〜 2016年9月29日
Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan

11:09 〜 11:12

[PS-8-04] Reliability of Epitaxial Nickel Disilicide Thin Film

^○C. Hsin¹, S. Lee¹ (1.National Central Univ.(Taiwan))

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