Nanosheet Number and Width Optimization of Multi Stacked NanoSheet FET for 7-nm Node SoC Application

2018 International Conference on Solid State Devices and Materials

2018年9月9日〜 2018年9月13日
University of Tokyo

11:00 〜 13:30

^○J.-S. Yoon¹, J. Jeong¹, S. Lee¹, R.-H. Baek¹ (1.Pohang University of Science and Technology (Korea))