2:30 PM - 2:45 PM

[G-1-02] IGZO Integration Scheme For Enabling IGZO nFETs

^○L. Kljucar¹, J. Mitard¹, N. Rassoul¹, H. Dekkers¹, S. Steudel¹, J.I. del Agua Borniquel², B. De Wachter¹, L. Teugels¹, D. Tsvetanova¹, K. Devriendt¹, I. Grisin, G. Boccardi¹, H. Hody¹, M. Nag¹, L. Di Piazza¹, C.J. Wilson¹, G.S. Kar¹, Z. Tokei¹, J. Ramalingam³, Y. Cao³, D.L. Diehl³ (1.imec (Belgium), 2.AMAT Belgium (Belgium), 3.AMAT USA (USA))

https://doi.org/10.7567/SSDM.2019.G-1-02