[A-1-04] Understanding wet annealing effect on phase transition and ferroelectric phase formation for Hf1-xZrxO2 film
2020 International Conference on Solid State Devices and Materials
|2020年9月28日(月)
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|2020年9月28日(月)
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|2020年9月28日(月)
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|2020年9月29日(火)
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|2020年9月29日(火)
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|2020年9月29日(火)
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|2020年9月29日(火)
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|2020年9月29日(火)
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|2020年9月29日(火)