[1N01-04] ビーム利用

[1N02] スズ含有レジストの放射線誘起反応機構の解明

*高田 結以¹、室屋 裕佐¹、古澤 孝弘¹、榎本 智至²、バイラル ナクヴィ³、ダニーロ サイモン³ (1. 阪大産研、2. 東洋合成、3. imec)

キーワード：放射線化学、EUVレジスト、有機スズ化合物、パルスラジオリシス、ガンマラジオリシス

モア・ムーアに従う次世代メタルレジスト材料として、スズを含むレジストの開発が期待されている。本研究では、高分子側鎖にスズ錯体を持つEUVレジストの設計指針の獲得を目的とし、電子線パルスラジオリシス法を用いた初期過程解析と、ガンマラジオリシス法を用いた生成物分析により、反応機構を調べた。