10:30 〜 10:45
〇ゲン コアンヅン1、岩本 晃太1、椎木 弘1 (1. 大阪府立大学)
S10. マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術
2018年9月25日(火) 10:30 〜 12:00 I会場 (108教室)
主催:ナノ・マイクロファブリケーション研究会
微細構造形成技術はマイクロメートルからナノメートルレベルへ急速に展開し,それに伴い従来の薄膜やリソグラフィ技術に加え,ナノ粒子形成や自己組織化といった新しい技術展開が進んでいる.またその応用も環境・エネルギーからバイオ・医療まで広範囲にわたっており,今後さらに拡大していくと予想される.本シンポジウムではマイクロメートルからナノメートルまでのサイズの微細構造を有する材料・デバイスの形成,及びそれらの応用技術を中心テーマとして扱う.具体的には、薄膜,微粒子等の材料作製から微細構造・デバイス形成、評価技術,加えてそれらを応用するシステム技術についても討論する場としたい.
10:30 〜 10:45
〇ゲン コアンヅン1、岩本 晃太1、椎木 弘1 (1. 大阪府立大学)
10:45 〜 11:00
〇若松 寛気1、寺沢 秀章1、伊藤 健1、清水 智弘1、新宮原 正三1 (1. 関西大学大学院 理工学研究科)
11:00 〜 11:15
〇國本 雅宏1、柳沢 雅広1、本間 敬之1 (1. 早稲田大学)
11:15 〜 11:30
〇一之瀬 玲皇1、近藤 敏彰1、柳下 崇1、益田 秀樹1 (1. 首都大都市環境)
11:30 〜 11:45
〇増岡 輝1、亀山 達矢1、桑畑 進2、鳥本 司1 (1. 名古屋大学大学院、2. 大阪大学大学院)
11:45 〜 12:00
〇王 禹淳1、李 笑玮1、南本 大穂1、村越 敬1 (1. 北海道大学)
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