電気化学会第85回大会

講演情報

S19. 電子材料及びナノ機能素子技術

【電子材料及びナノ機能素子技術】
セッション3

2018年3月9日(金) 15:00 〜 16:30 U会場 (講義棟508号室)

座長:新宮原 正三(関西大学)、早瀬 仁則(東京理科大学)

主催:電子材料委員会

16:00 〜 16:15

[1U15] 微細溝パターンへの無電解めっきの検討

〇深堂 秀亮1、井芹 崇樹2、上山 慎介1、清水 智弘1、伊藤 健1、新宮原 正三1 (1. 関西大学システム理工学部、2. 関西大学理工学研究科)