2021電気化学秋季大会

講演情報

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S13/S8会場

S13. 電子材料及びナノ機能素子

セッション4（一般講演2）

2021年9月8日(水) 15:15 〜 16:30 I会場(S13/S8) (E307)

座長:上野 和良(芝浦工業大学)

主催：電子材料委員会

15:15 〜 15:30

[1I09] TSVを模した構造を有するマイクロ流体デバイスによる銅めっきボトムアップ堆積観察

秋田 貴誉1、関 大雅1、〇早瀬 仁則1 (1. 東京理科大学)