[G] 表面・界面・触媒

[103] 各種基板表面における二次元層状半導体MoS₂の摩擦誘起成膜

*大﨑 淳也¹、田邊 匡生²、小山 裕² (1. 東北大工（学生）、2. 東北大工)

キーワード：MoS₂、二次元材料、MoDTC、潤滑膜

摩擦によるMoS2潤滑膜の生成反応を半導体デバイスプロセスへ応用することを目的とし、基板の種類がMoS2潤滑膜生成に及ぼす影響について調査する。