[G] 半導体・誘電体材料

[237] 二次元層状半導体MoS₂の摩擦誘起成膜における基板の効果

*大崎 淳也¹、田邊 匡生²、小山 裕² (1. 東北大工（学生）、2. 東北大工)

キーワード：ＭｏＳ_２、二次元材料、ＭｏＤＴＣ

MoS2はバンドギャップを持つ二次元材料として注目を集めているが、その成膜方法は確立されていない。そこで自動車のエンジンオイル等で摩擦低減のため利用されている反応を活用した新たな成膜プロセスを開発する。