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[265] TiO2/SrTiO3積層膜の作製とその光応答
キーワード:細胞培養器、セラミック半導体、光化学反応
スパッタリングでTiO2/SrTiO3積層し,相対的な膜厚を調整する条件を調査した。膜厚が700nm以下の領域では基本的に膜厚増加に伴い光応答性は向上した。
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