[G] 生体材料基礎・生体応答

[265] TiO₂/SrTiO₃積層膜の作製とその光応答

*上田 正人¹、松村 漱²、池田 勝彦¹ (1. 関西大化学生命工、2. 関西大学大学院理工学研究科)

キーワード：細胞培養器、セラミック半導体、光化学反応

スパッタリングでTiO₂/SrTiO₃積層し，相対的な膜厚を調整する条件を調査した。膜厚が700nm以下の領域では基本的に膜厚増加に伴い光応答性は向上した。