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[375] メルトスピン法における冷却基板上での溶融Sn の温度分布のその場観察
キーワード：メルトスピン、その場観察
メルトスピン法では局所的な接触熱伝達係数の低下、などによって板厚が不均一になることが課題の一つである。単結晶SiCを冷却媒体に使用して、SiCと溶湯の界面の温度変化を赤外線カメラでその場観察する手法を開発
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