[P141] Cuコアボールを介したNiマイクロメッキ接合の高温信頼性
キーワード:Niマイクロメッキ、Cuコアボール、実装技術、拡散層、高温信頼性
本研究室は、高温に耐えうる新たな接合技術としてNiマイクロメッキ接合技術を提案している。本研究では、配置の自由度などの点で優れているCuコアボールを介したNiマイクロメッキ接合の高温信頼性を評価した。
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