[G] Surface, Interface, and Catalysts

[111] Self-consistent Diffraction Stress Analysis for Measuring Stress and Composition of Alloy Films

*Takashi HARUMOTO¹, Ji SHI¹, Yoshio NAKAMURA¹ (1. Tokyo Institute of Technology)

Keywords:応力測定、薄膜、弾性定数、X線回折、歪解析

合金薄膜の応力・組成を簡便に解析する新しい手法として、セルフコンシステントX 線応力測定法を提案し、その妥当性について調査した。その結果、簡易測定には十分に適当可能であると判明した。