[P] P293~P306

[P298] CrNのCrをMnに置換固溶させた(Cr,Mn)N薄膜の作製と物性評価

*加藤 広晃¹、澤谷 柊¹、鈴木 常生¹ (1. 長岡技術科学大学)

キーワード：PLD、遷移金属窒化物、電気伝導性、薄膜

MgO(001)単結晶基板上にCrNのCrサイトにMnを置換固溶させた(Cr,Mn)N薄膜をPLD法により作製した。結晶相同定・評価より単結晶ライクなエピタキシャル薄膜であることが示唆された。