[P] P293~P306

[P299] 水素を添加した窒化クロムの作成

*田代 康真¹、澤谷 柊¹、鈴木 常生¹ (1. 長岡技科大)

キーワード：PLD、薄膜、遷移金属窒化物、窒化クロム、水素

水素を導入した雰囲気化でSi(1 0 0)基板上に窒化クロム薄膜をPLD法で作製した。FT-IRとXRDを用いて分析した結果、純CrN薄膜と比較して両方でピークの位置に変化が観られた。