Preparation and characterization of (Cr,Mn)N thin films by substituting Mn into Cr site in CrN

4:00 PM - 5:30 PM

[P298] Preparation and characterization of (Cr,Mn)N thin films by substituting Mn into Cr site in CrN

*Hiroaki KATO¹, Shu SAWAYA¹, Tsuneo SUZUKI¹ (1. Nagaoka Univ. of Technol.)

Keywords:PLD、遷移金属窒化物、電気伝導性、薄膜

MgO(001)単結晶基板上にCrNのCrサイトにMnを置換固溶させた(Cr,Mn)N薄膜をPLD法により作製した。結晶相同定・評価より単結晶ライクなエピタキシャル薄膜であることが示唆された。