日本金属学会2024年秋期(第175回)講演大会

講演情報

ポスターセッション

5.材料化学 » 材料化学

[P] P293~P306

2024年9月18日(水) 16:00 〜 17:30 ポスターセッション会場2 (サイエンスコモンズ・スタジオA)

16:00 〜 17:30

[P301] CrNを高圧相ZnOに置換固溶させたCr-Zn-N-O薄膜の合成と硬度評価

*水谷 建太1、カイルルアブラル ビンオン1、澤谷 柊1、鈴木 常生1 (1. 長岡技科大)

キーワード:PLD、遷移金属窒化物、薄膜、硬度

本研究では超高真空下でPLD法によりCr-Zn-N-Oの合成を試みた。結果より、成膜により得た薄膜は(Cr, Zn)(N, O)とZnOの2相構造となり、硬度も純ZnO薄膜より上昇した。

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