[16p-P8-1~21] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16p-P8-16] 熱分解グラファイトシート上へのミストCVD法による酸化亜鉛の製膜

^○山崎佑一郎¹，宇野和行¹，加計俊介¹，風呂谷育浩¹，田中一郎¹ (和歌山大システム工¹)

キーワード：酸化亜鉛,mistCVD