[17a-B5-1~10] 13.3 絶縁膜技術

△ [17a-B5-10] GaSbショットキー接合型メタルS/D pMOSFETsの動作実証

^○（M1）後藤高寛^1,2，藤川紗千恵¹，藤代博記¹，小倉睦郞²，安田哲二²，前田辰郎^1,2 (東理大院基礎工¹，産総研²)

キーワード：GaSb,Al2O3,MOSFET