[17p-B3-1~17] 15.6 IV族系化合物

[17p-B3-2] SiC-MOSキャパシタにおけるシングルイベント破壊機構の検討

^○（DC）出来真斗^1,2，牧野高紘²，富田卓朗¹，児島一聡³，大島武² (徳島大¹，原子力機構²，産総研³)

キーワード：炭化ケイ素