[17p-B3-1~17] 15.6 IV族系化合物

[17p-B3-3] FCA測定装置の開発とSiCのキャリアライフタイム評価への適用

^○森祐人，チュン グェン，加藤正史，市村正也 (名工大)

キーワード：FCA測定,SiC,キャリアライフタイム