[17p-C11-5~6] プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演

[17p-C11-5] 「プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演」（30分）高エネルギー水素イオン入射によるSi表面の増殖酸化

伊藤智子¹，溝谷浩平¹，礒部倫郎¹，唐橋一浩¹，深沢正永²，長畑和典²，辰巳哲也²，^○浜口智志¹ (阪大¹，ソニー²)

キーワード：プラズマエッチング,増速酸化,表面ダメージ