[17p-C13-1~14] 3.4 計測光学

[17p-C13-5] 反射分光式シリコンウェハ厚さ計で用いる短波長近赤外帯(SWIR)光学定数分散の検討

^○小貫哲平，小野竜典，柳町修介，尾嶌裕隆，清水淳，周立波 (茨大工)

キーワード：薄ウェハ厚さ計