[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[17p-P2-7] プローブを用いた粉体スパッタプラズマの計測

^○川崎仁晴，谷山大地，竹市悟志，大島多美子，柳生義人，猪原武士，田中雪，須田義昭 (佐世保高専)

キーワード：Powder target,Plasma process