2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15．結晶工学 » 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

[18a-B4-1~10] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

2013年9月18日(水) 09:15 〜 12:00 B4 (TC2 1F-106)

11:30 〜 11:45

[18a-B4-9] 圧縮歪みSi/Si1-XCX/Si(100)ヘテロ構造における結晶欠陥形成過程の研究

○（M2）酒井翔一朗1，古川洋志1，有元圭介1，山中淳二1，中川清和1，宇佐美徳隆2，星裕介2，澤野憲太郎3，白木靖寛3 (山梨大クリスタル研1，名大2，東京都市大総研3)

キーワード：圧縮歪みSi