2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[18a-C2-1~8] 8.4 プラズマエッチング

2013年9月18日(水) 09:30 〜 11:45 C2 (TC3 1F-102)

10:45 〜 11:00

[18a-C2-5] Real-time / In-situ Electron Spin Resonance Analysis of Chemical Reactions on Silicon-Nitride with CF4 Gas Plasma

○(PC)宮脇雄大,王浩然,近藤祐介,石川健治,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,堀勝 (名大院工)

キーワード:Electorn Spin Resonance,Silicon Nitride,Etching