[18a-C2-1~8] 8.4 プラズマエッチング

[18a-C2-7] 分子動力学法を用いた塩素系プラズマによるSiエッチング表面反応解析：エッチング副生成物イオン入射の効果

^○（D）中崎暢也，鷹尾祥典，江利口浩二，斧高一 (京大院工)

キーワード：Siエッチング,分子動力学法,エッチング副生成物イオン