[18a-P1-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[18a-P1-6] 化学溶液堆積法による(Pb,La)(Zr,Ti)O₃巨大結晶粒薄膜の作製と電気特性評価

^○倉持裕介¹，橋爪洋一郎¹，岡村総一郎¹，山本孝²，飯島高志³ (東理大理¹，防衛大²，産総研³)

キーワード：強誘電体薄膜,化学溶液堆積法,巨大結晶粒