[19a-A4-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [19a-A4-1] 大気圧ミストCVD法で作製した酸化アルミニウム(AlO_x)薄膜の太陽電池用パッシベーション応用

^○内田貴之¹，川原村敏幸²，柴山健次¹，藤田静雄¹，平松幸浩³，織田容征³ (京大院工¹，高知工大　ナノ研²，東芝三菱電機産業システム³)

キーワード：パッシベーション膜,酸化アルミニウム,ミストCVD