[19a-C1-1~11] 8.2 プラズマ診断･計測

[19a-C1-2] 高出力パルスマグネトロンスパッタ源から放出された2次粒子強度の時間特性

^○塚本恵三^1,2，田村哲郎¹，小安喜一郎¹，大下慶次郎¹，山本宏晃²，戸名正英²，美齊津文典¹ (東北大院理¹，アヤボ²)

キーワード：HIPIMS,TOF,Sputtering