[19a-P5-1~14] 13.5 Siプロセス技術

[19a-P5-10] 冷却ホルダを用いた軟X線照射によるSi中B原子の低温活性化

^○部家彰¹，草壁史¹，丸山裕樹¹，松尾直人¹，神田一浩²，野口隆³ (兵庫県立大工¹，兵庫県立大高度研²，琉球大³)

キーワード：軟Ｘ線,活性化,シート抵抗