09:30 〜 11:30
[19a-P9-5] 異なるハロゲンガスを用いたSiCの熱エッチング特性
キーワード：SiC,ハロゲン,エッチング
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
15．結晶工学 » 15.6 IV族系化合物
[19a-P9-1~10] 15.6 IV族系化合物
2013年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 P9 (デイヴィス記念館 )
一般セッション(ポスター講演)
15．結晶工学 » 15.6 IV族系化合物
2013年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 P9 (デイヴィス記念館 )
09:30 〜 11:30
キーワード：SiC,ハロゲン,エッチング