[19p-A12-1~13] 7.6 イオンビーム一般

[19p-A12-8] マルチノズルを用いたClF₃中性クラスタービームによるSiエッチング

^○瀬木利夫¹，吉野裕²，妹尾武彦²，小池国彦²，青木学聡¹，松尾二郎¹ (京大院工¹，岩谷産業²)

キーワード：クラスター