[19p-A12-1~13] 7.6 イオンビーム一般

[19p-A12-7] GCIB照射によるメディア上カーボン保護膜の表面平坦化効果とヘッド浮上特性の評価

^○木村旭¹，冨田淳²，豊田紀章¹，谷弘詞²，山田公¹ (兵庫県立大工¹，関西大理工²)

キーワード：クラスター,磁気ヘッド,平坦化