17:15 〜 17:30
[19p-A2-14] 相変化デバイス向けpoly-Siダイオードの結晶化・不純物活性化プロセスの最適化検討
キーワード：poly-Siダイオード,RTA
講演情報
一般セッション(口頭講演)
16．非晶質・微結晶 » 16.1 基礎物性・評価
[19p-A2-1~17] 16.1 基礎物性・評価
2013年9月19日(木) 13:30 〜 18:15 A2 (TC1 1F-116)
一般セッション(口頭講演)
16．非晶質・微結晶 » 16.1 基礎物性・評価
2013年9月19日(木) 13:30 〜 18:15 A2 (TC1 1F-116)
17:15 〜 17:30
キーワード：poly-Siダイオード,RTA