[19p-C7-1~13] 6.4 薄膜新材料

[19p-C7-10] 酸素をキャリアガスにしたフレームデポジション法によるエルビア膜の作製

^○白井友之¹，中村淳^1,2，大塩茂夫¹，小松啓志¹，戸田育民¹，村松寛之¹，齋藤秀俊¹ (長岡技術科学大¹，中部キレスト²)

キーワード：エルビア,フレームデポジション法,キャリアガス