[20a-B5-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [20a-B5-4] スパッタ成膜AlN上への単結晶p-i-nナノコラム作製

^○林宏暁¹，尾崎泰一朗¹，松山勇¹，岸野克巳^1,2 (上智大¹，上智ナノテク²)

キーワード：スパッタ膜上単結晶,窒化物半導体,MBE成長