[20p-B4-1~8] 13.5 Siプロセス技術

[20p-B4-1] S原子ペアーがピニングでショットキー障壁を消滅させる機構

^○加藤弘一，丸亀孝生，西義史，三谷祐一郎 (東芝研開セ)

キーワード：ショットキー,硫黄,障壁